230 nm深紫外光発生に向けた2層極性反転AlN導波路の設計と作製

230 nm深紫外光発生に向けた2層極性反転AlN導波路の設計と作製
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用于230 nm深紫外光产生的两层极性反转AlN波导的设计和制造

DOI:
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发表时间:
2021
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
片山竜二
片山竜二
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
本田啓人;永田拓実;市川修平;藤原康文;正直花奈子;三宅秀人;上向井正裕;谷川智之;片山竜二

文献摘要

参考文献

被引文献

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