Focusing EUV light with ellipsoidal mirror
Focusing EUV light with ellipsoidal mirror
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使用椭球面镜聚焦 EUV 光
DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
and H. Mimura
中科院分区:
文献类型:
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作者:
H. Motoyama;and H. Mimura