冷凍ピンチャックを用いた高平坦化研磨（第１報）－メニスカス力の基板変形への影響－
冷凍ピンチャックを用いた高平坦化研磨（第１報）－メニスカス力の基板変形への影響－
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使用冷冻针卡盘进行高平整度抛光（第一份报告） - 弯月面力对基板变形的影响 -
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
多田一生，吉冨健一郎，餅田 正秋，宇根 篤暢
中科院分区：
文献类型：
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作者：
多田一生，吉冨健一郎，餅田 正秋，宇根 篤暢
