So YNEKUBO,Masato NAKANO,Kiichi KAMIMURA,and Yoshiharu ONUMA,: "Preparation of polycrystalline SiC films by sputtering usin carbon and silicon target" Proceedings of the First Magneto-Electronics International Symposium. 105-107 (1994)
So YNEKUBO,Masato NAKANO,Kiichi KAMIMURA,and Yoshiharu ONUMA,: "Preparation of polycrystalline SiC films by sputtering usin carbon and silicon target" Proceedings of the First Magneto-Electronics International Symposium. 105-107 (1994)
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YNEKUBO、Masato NAKANO、Kiichi KAMIMURA 和 Yoshiharu ONUMA，：“利用碳和硅靶材溅射制备多晶 SiC 薄膜”第一届磁电子国际研讨会论文集。
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