Metal-Assisted Chemical Etching of InP Substrate under UV hradiation
Metal-Assisted Chemical Etching of InP Substrate under UV hradiation
复制标题
紫外辐射下 InP 衬底金属辅助化学刻蚀
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
S.Ono
中科院分区：
文献类型：
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作者：
T.Yokoyama;H.Asoh;S.Ono
