Influence of cumulative laser irradiation on YBCO thin film pulsed laser deposition
Influence of cumulative laser irradiation on YBCO thin film pulsed laser deposition
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累积激光辐照对YBCO薄膜脉冲激光沉积的影响
DOI：
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发表时间：
1996
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Donchev
中科院分区：
文献类型：
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作者：
V. Tsaneva;R. Tomov;D. Ouzounov;T. Donchev
用扫描电子显微镜和能谱仪研究了YBCO陶瓷靶材在XeCl激光累积照射下的形貌和化学计量比的变化。研究了Taget修饰对激光诱导等离子体羽流光发射和沉积薄膜厚度分布的影响。
Morphological and stoichiometric changes of YBCO ceramic targets under cumulative XeCl laser irradiation are investigated by SEM and EDAX. The impact of taget modifications on laser-induced plasma plume optical emission and on deposited thin films thicknes distribution is studied.