益 一哉、坪内 和夫、俣野 達哉、樋浦 洋平、御子柴宣夫、: "DMAHとH_2を用いた選択/非選択Al CVD法によるビアホ-ル完全平坦化堆積" 電子情報通信学会技術研究報告. SDM90ー77. 7-12 (1990)

Kazuya Masu、Kazuo Tsubouchi、Tatsuya Matano、Yohei Hiura、Nobuo Mikoshiba：“使用 DMAH 和 H_2 通过选择性/非选择性 Al CVD 方法完全平坦化通孔” IEICE 技术报告。