O puls E「デュアルダマシン銅配線へのナノインプリント技術の応用」(vol. 31 No. 2)
O puls E「デュアルダマシン銅配線へのナノインプリント技術の応用」(vol. 31 No. 2)
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O puls E《纳米压印技术在双镶嵌铜布线中的应用》（第31卷第2期）
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
水野 潤
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K. Noguchi;S. Komiyama and T. Honda;水野 潤
影响因子：
4.3
作者：
H. Sambrook
通讯作者：
H. Sambrook