偏光顕微ラマン分光法を用いた単結晶シリコンの応力成分評価
偏光顕微ラマン分光法を用いた単結晶シリコンの応力成分評価
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使用偏振显微拉曼光谱评估单晶硅中的应力分量
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
今泉潤哉・市川拓人・鈴木隆浩・來海博央
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Rie Nakamura;Anil.N.Netravali;角田恭兵・今泉潤哉・藤井琢士・來海博央;菊池将一，中井善一，今井貴文，久保薗宏樹，上野明，飴山惠，早水洋介;中村悠太，菊池将一，吉田翔，上野明，飴山惠;今泉潤哉・市川拓人・鈴木隆浩・來海博央
