イオンビーム支援蒸着法で形成した窒化炭素薄膜の破壊特性
イオンビーム支援蒸着法で形成した窒化炭素薄膜の破壊特性
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离子束辅助沉积法形成氮化碳薄膜的破坏特性
DOI：
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发表时间：
2005
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
鈴木 崇雅
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安井平司;澤武一;鈴木 崇雅
