Atomic subsurface integrity improvement for curved and microstructured silicon surface by laser irradiation
Atomic subsurface integrity improvement for curved and microstructured silicon surface by laser irradiation
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通过激光照射改善弯曲和微结构硅表面的原子次表面完整性
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T. Kuriyagawa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
J. Yan;F. Kobayashi;M. Kubo;T. Kuriyagawa
