THz時間領域分光によるALD酸化膜の電界効果の評価
THz時間領域分光によるALD酸化膜の電界効果の評価
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太赫兹时域光谱评价ALD氧化膜的电场效应
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
斗内 政吉
中科院分区：
文献类型：
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作者：
望月 敏光;薄 謙志郎;棚橋 克人;高遠 秀尚;川山 巌;斗内 政吉
