室田淳一: "CVD薄膜形成における表面吸着水素の効果「ウェーハ表面完全性の創成・評価技術」, サイエンスフォーラム, 第4章第3節, pp.160-167" 18 (1998)
室田淳一: "CVD薄膜形成における表面吸着水素の効果「ウェーハ表面完全性の創成・評価技術」, サイエンスフォーラム, 第4章第3節, pp.160-167" 18 (1998)
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Junichi Murota：“表面吸附氢对 CVD 薄膜形成的影响‘晶圆表面完整性的创建和评估技术’，科学论坛，第 4 章第 3 部分，第 160-167 页”18 (1998)
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