基于短脉冲激光束干涉的硅表面亚微米结构加工工艺
基于短脉冲激光束干涉的硅表面亚微米结构加工工艺
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DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
胡永祥
中科院分区：
文献类型：
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作者：
姚振强;胡永祥
