Supercritical Fluid Deposition of Conformal Oxide Films: 3-Dimentionally-Stacked RuO2/TiO2/RuO2 Structures for MIM Capacitors
Supercritical Fluid Deposition of Conformal Oxide Films: 3-Dimentionally-Stacked RuO2/TiO2/RuO2 Structures for MIM Capacitors
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共形氧化膜的超临界流体沉积：MIM 电容器的三维堆叠 RuO2/TiO2/RuO2 结构
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
霜垣 幸浩
中科院分区：
文献类型：
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作者：
チョウ ユウ;下山 裕介;百瀬 健;霜垣 幸浩
