High density and low temperature nitrogen plasmas for nitrogen atom source
High density and low temperature nitrogen plasmas for nitrogen atom source
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氮原子源用高密度低温氮等离子体
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Hayashi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
N.Ohno;K.Asaoka;S.Kajita;H.Tanaka;Y.Hayashi
