高圧酸化によるGeO_2膜中欠陥の抑制効果の分光エリプソメトリーによる観察

高圧酸化によるGeO_2膜中欠陥の抑制効果の分光エリプソメトリーによる観察
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利用光谱椭圆光度法观察高压氧化GeO_2薄膜缺陷的抑制效果

DOI:
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发表时间:
2009
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
鳥海明
鳥海明
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
喜多浩之;李忠賢;西村知紀;長汐晃輔;鳥海明

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