In-situ Transmission Infrared Spectroscopy of Hydroxylation of Aluminum Thin Film and Subsequent Dehydration Processes
In-situ Transmission Infrared Spectroscopy of Hydroxylation of Aluminum Thin Film and Subsequent Dehydration Processes
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铝薄膜羟基化及后续脱水过程的原位透射红外光谱
DOI：
10.7567/jjap.53.066701
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Takashi Ishiguro
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takuji Ube;Takashi Harumoto;Takashi Ishiguro
