Analysis of chemical reaction in Cu-CMP with reactive nanoparticles based on Raman spectra enhanced by surface plasmon
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基于表面等离子体增强拉曼光谱分析 Cu-CMP 与活性纳米粒子的化学反应
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masaki MICHIHATA
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Masafumi ASAHI;Yasuhiro TAKAYA;Masaki MICHIHATA
