ペニングスパッタ装置の大電力パルス動作と高密度プラズマ生成
ペニングスパッタ装置の大電力パルス動作と高密度プラズマ生成
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潘宁溅射设备的高功率脉冲操作和高密度等离子体生成
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
(池畑隆)
中科院分区：
文献类型：
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作者：
菊地貴允;佐藤直幸;東欣吾;(池畑隆)
