有機EL素子の上部電極作製用スパッタ成膜プロセスの開発
有機EL素子の上部電極作製用スパッタ成膜プロセスの開発
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开发用于制造有机EL器件上电极的溅射沉积工艺
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
内田孝幸
中科院分区：
文献类型：
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作者：
安田洋司，星陽一，小林信一;内田孝幸
