A Novel Method for the Production of AlN Film with High Adhesion on Al Substrate
A Novel Method for the Production of AlN Film with High Adhesion on Al Substrate
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一种在铝基体上制备高附着力氮化铝薄膜的新方法
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
T.Hara
中科院分区：
文献类型：
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作者：
M.Yoshida;M.Okumiya;R.Ichiki;C.Tekmen;W.Khalifa;Y.Tsunekawa;T.Hara
