Formation of Three-Dimensional Shape in Silicon by Photo-etching withN-Fluoropyridinium Salts
Formation of Three-Dimensional Shape in Silicon by Photo-etching withN-Fluoropyridinium Salts
复制标题
N-氟吡啶盐光刻在硅中形成三维形状
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
M.Morita
中科院分区：
文献类型：
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作者：
K.Tsukamoto;J.Uchikoshi;S.Goto;T.Nagai;K.Adachi;K.Arima;M.Morita
