Effect of target compositions on the crystallinity of β-FeSi_2 prepared by ion beam sputter deposition method
Effect of target compositions on the crystallinity of β-FeSi_2 prepared by ion beam sputter deposition method
复制标题
靶材成分对离子束溅射沉积法制备β-FeSi_2结晶度的影响
DOI：
--
复制
发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
K.Yamaguchi et al.
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Tsuyoshi Misawa;Hironobu Unesaki;K.Yamaguchi et al.;K.Yamaguchi et al.
