The Three-dimensional Actuation of the MEMS Scanner with Single Pair of Beams and Single Driving System
The Three-dimensional Actuation of the MEMS Scanner with Single Pair of Beams and Single Driving System
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单对梁单驱动系统MEMS扫描仪的三维驱动
DOI：
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发表时间：
2015
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Eiji Iwase
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yohei Oguchi;Chisa Iino;Eiji Iwase
