マイクロミラー用簿膜トーションバーにおけるハードスプリング効果の評価
マイクロミラー用簿膜トーションバーにおけるハードスプリング効果の評価
复制标题
微镜膜扭杆硬弹簧效果评价
DOI：
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发表时间：
2012
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
熊谷慎
中科院分区：
文献类型：
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作者：
小川翔平;熊谷慎
