原子層プロセスにおける低エネルギーイオン照射誘起表面反応
原子層プロセスにおける低エネルギーイオン照射誘起表面反応
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原子层过程中低能离子辐照诱导的表面反应
DOI：
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发表时间：
2021
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
浜口智志
中科院分区：
文献类型：
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作者：
伊藤智子;唐橋一 浩;浜口智志
