マイクロ波を用いた大気圧プラズマトーチによるダイヤモンド膜のエッチング
マイクロ波を用いた大気圧プラズマトーチによるダイヤモンド膜のエッチング
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利用微波常压等离子炬蚀刻金刚石薄膜
DOI：
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发表时间：
2013
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
金橋 寛明
中科院分区：
文献类型：
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作者：
竹内 貞雄;松永 健志;金橋 寛明
