T.Sugaya,M.Kawabe: "Low‐Temperature Cleaning of GaAs Substrate by Atomic Hydrogen Irradiation" Jpn.J.Appl.Phys. 30. L402 (1991)
T.Sugaya,M.Kawabe: "Low‐Temperature Cleaning of GaAs Substrate by Atomic Hydrogen Irradiation" Jpn.J.Appl.Phys. 30. L402 (1991)
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T.Sugaya, M.Kawabe：“通过原子氢辐照对 GaAs 基板进行低温清洗”Jpn.J.Appl.Phys 30. L402 (1991)
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