基于SON构造的电容式绝对压力传感器设计
基于SON构造的电容式绝对压力传感器设计
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DOI:
10.13873/j.1000-9787(2019)06-0066-04
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发表时间:
2019
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
李伯全
中科院分区:
文献类型:
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作者:
汪赟;郝秀春;蒋纬涵;李宇翔;李伯全