基于SON构造的电容式绝对压力传感器设计

基于SON构造的电容式绝对压力传感器设计
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DOI:
10.13873/j.1000-9787(2019)06-0066-04
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发表时间:
2019
期刊:
传感器与微系统
影响因子:
--
通讯作者:
李伯全
李伯全
中科院分区:
其他
文献类型:
--
作者:
汪赟;郝秀春;蒋纬涵;李宇翔;李伯全

文献摘要

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