Takahide UMEDA: "Charge-Trapping Defects in Cat CVD Silicon Nitride Films"Thin Solid Films. Vol.395 No.1-2. 266-269 (2001)
Takahide UMEDA: "Charge-Trapping Defects in Cat CVD Silicon Nitride Films"Thin Solid Films. Vol.395 No.1-2. 266-269 (2001)
复制标题
Takahide UMEDA:“Cat CVD 氮化硅薄膜中的电荷捕获缺陷”固体薄膜。
DOI:
--
复制
发表时间:
--
期刊:
影响因子:
--
通讯作者:
中科院分区:
文献类型:
--
作者: