Takahide UMEDA: "Charge-Trapping Defects in Cat CVD Silicon Nitride Films"Thin Solid Films. Vol.395 No.1-2. 266-269 (2001)

Takahide UMEDA: "Charge-Trapping Defects in Cat CVD Silicon Nitride Films"Thin Solid Films. Vol.395 No.1-2. 266-269 (2001)
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Takahide UMEDA:“Cat CVD 氮化硅薄膜中的电荷捕获缺陷”固体薄膜。

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