Simul taneous measurement of nanometric longitudinal displacement and micrometric lateral displacement by using one line CCD camera

Simul taneous measurement of nanometric longitudinal displacement and micrometric lateral displacement by using one line CCD camera
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线阵CCD相机同时测量纳米级纵向位移和微米级横向位移

DOI：
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发表时间：
2006
期刊：
Proceeding of SPIE(Optomechatronic Actuators, Manipulation, and Systems Control) 6374
影响因子：
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通讯作者：
Y.Nishide
Y.Nishide
中科院分区：
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文献类型：
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作者：
M.Adachi;Y.Nishide

文献摘要

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