磁歪材料のコンビナトリアル探索用SOI-MEMSデバイス製作
磁歪材料のコンビナトリアル探索用SOI-MEMSデバイス製作
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用于磁致伸缩材料组合探索的 SOI-MEMS 器件制造
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
本川侑季，前谷卓哉，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
河合 駿;岡田 法大;湯澤 勝浩;佐々木 寛人;蟹江 慧;清田 泰次郎;清水 一憲;本多 裕之;加藤 竜司;前谷卓哉，本川侑季，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一;本川侑季，前谷卓哉，溝尻瑞枝，櫻井淳平，秦誠一
