β-Ga2O3ドライエッチングにおけるドープ種の影響
β-Ga2O3ドライエッチングにおけるドープ種の影響
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掺杂种类对β-Ga2O3干法刻蚀的影响
DOI：
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发表时间：
2019
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
森山裕貴，新海聡子
中科院分区：
文献类型：
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作者：
梅沢俊匡;吉田悠来;菅野敦史;山本直克, 川西哲也;森山裕貴，新海聡子
