Gas-Solid Reaction Properties of Fluorine Compounds and Solid Adsorbents for Off-Gas Treatment from Semiconductor Facility
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半导体装置废气处理用氟化合物和固体吸附剂的气固反应特性
DOI：
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发表时间：
2012
影响因子：
2.7
通讯作者：
A. Takeuchi and Y. Iwasa
中科院分区：
文献类型：
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作者：
S. Yasui;T. Sho jo;G. Inoue;K. Koike;A. Takeuchi and Y. Iwasa
