ドレスト光子エッチングにおける偏光および形状依存性に関する検討
ドレスト光子エッチングにおける偏光および形状依存性に関する検討
复制标题
修饰光子刻蚀中偏振和形状依赖性的研究
DOI：
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发表时间：
2014
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大津元一
中科院分区：
文献类型：
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作者：
坪井俊樹;八井 崇;坂野 斎;信定克幸;Fabrice Stehlin;Olivier Soppera;川添 忠;Daniel Bloch;東條 賢;大津元一
