Analysis of the emission spectrum of Xe and Sn
Analysis of the emission spectrum of Xe and Sn
复制标题
Xe和Sn的发射光谱分析
DOI：
10.1117/12.655938
复制
发表时间：
2006
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
H. Tanuma
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
Akira Sasaki;K. Nishihara;Atsushi Sunahara;T. Nishikawa;F. Koike;K. Kagawa;H. Tanuma
研究了Sn和Sn等离子体中的原子过程。原子跃迁的波长被证明在再现实验中具有关键作用。通过与特定电荷光谱测量的详细比较，我们模型中共振线的波长得到了改进。研究了位形相互作用（CI）影响下的伴线分布。的光谱轮廓的PbS和Sn的排放，这决定了可用的EUV功率的分数，讨论了相对于其依赖于等离子体的温度，密度以及光学深度。
The atomic processes in the Xe and Sn plasmas are investigated. The wavelength of atomic transitions is shown to have a critical effect in reproducing experiments. The wavelengths of resonance lines in our model are improved through detailed comparison with charge specific spectroscopic measurement. Distribution of satellite lines in the presence of the effect of the configuration interaction (CI) is investigated. The spectral profile of Xe and Sn emission, which determines fraction of usable EUV power, is discussed with respect to its dependence on the plasma temperature, density as well as the optical depth.
电荷转移碰撞中产生的激发多电荷氙离子的 EUV 发射光谱
DOI：
--
发表时间：
2005
期刊：
Nucl. Instrum. Meth. B, 235
影响因子：
--
作者：
Miyake;T.;Yahara T.;脇田 晴子;Nishimura Y. et al.;田中きく代(共著);H.Tanuma 他7名
通讯作者：
H.Tanuma 他7名