走査型プローブ顕微鏡を援用した酸素添加大気圧プラズマジェットによるPMMA膜のサブマイクロ加工
走査型プローブ顕微鏡を援用した酸素添加大気圧プラズマジェットによるPMMA膜のサブマイクロ加工
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使用扫描探针显微镜通过含氧大气压等离子体射流亚微加工 PMMA 膜
DOI：
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发表时间：
2020
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
中澤謙太，山本 将，中川 英，荻野明久，下村 勝，岩田 太
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Kyojiro Morikawa;Chih-Chang Chang;Yutaka Kazoe;Kazuma Mawatari and Takehiko Kitamori;中澤謙太，山本 将，中川 英，荻野明久，下村 勝，岩田 太
