R. Saito: "Theoretical analysis and of the diffusive ion in biased plasma enhanced diamond chemical vapor deposition"J. Appl. Phys. 90. 2559-2564 (2001)
R. Saito: "Theoretical analysis and of the diffusive ion in biased plasma enhanced diamond chemical vapor deposition"J. Appl. Phys. 90. 2559-2564 (2001)
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R. Saito：“偏压等离子体增强金刚石化学气相沉积中扩散离子的理论分析和扩散”J。
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