PAMBE法によるAlN/GaN多層構造における極薄GaN層の成長制御性に関する検討

PAMBE法によるAlN/GaN多層構造における極薄GaN層の成長制御性に関する検討
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PAMBE法研究AlN/GaN多层结构中超薄GaN层的生长可控性

DOI:
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发表时间:
2014
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
須田淳
須田淳
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
金子光顕;木本恒暢;須田淳

文献摘要

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