デバイスシミュレーションによるnMOSFETへの一軸応力負荷の影響評価

デバイスシミュレーションによるnMOSFETへの一軸応力負荷の影響評価
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通过器件仿真评估单轴应力负载对 nMOSFET 的影响

DOI:
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发表时间:
2011
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
友景肇
友景肇
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
多田直弘;小金丸正明;池田徹;宮崎則幸;友景肇

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