Changes in Microstructure of Reactive Sputtered TiO_2 Films with Deposition Temperature.
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反应溅射TiO_2薄膜微观结构随沉积温度的变化。
DOI：
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发表时间：
2009
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Y.Hoshi
中科院分区：
文献类型：
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作者：
D.Ishihara;H.Lei;Y.Hoshi
