Modeling of Plasma-Induced Damage and Its Impacts on Parameter Variations in Advanced Electronic Devices
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复制标题
等离子体诱发损伤的建模及其对先进电子设备参数变化的影响
DOI：
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发表时间：
2010
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
江利口浩二
中科院分区：
文献类型：
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作者：
中野裕美;山田基宏;福本昌宏;山口英二;辻伸泰;F.Wakai;江利口浩二
