Preparation and characterization of Al-doped zinc oxide thin films by mixed powder targets with different states
Preparation and characterization of Al-doped zinc oxide thin films by mixed powder targets with different states
复制标题
不同状态混合粉末靶材Al掺杂氧化锌薄膜的制备及表征
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
Masaharu Shiratani
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Tamiko Ohshima;Yusuke Hibino;Takeshi Ihara;Yoshihito Yagyu;Takahiko Satake;Hiroharu Kawasaki; Naho Itagaki;Kazunori Koga;Masaharu Shiratani
