Al_2O_3を用いた結晶Si系パッシベーション技術
Al_2O_3を用いた結晶Si系パッシベーション技術
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Al_2O_3晶硅基钝化技术
DOI:
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发表时间:
2012
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
入川淳平
中科院分区:
文献类型:
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作者:
山根祥吾;相良剛光;加藤隆史;宮島大吾;宮島大吾;宮島大吾;宮島大吾;宮島大吾;宮島大吾;宮島大吾;宮島大吾;Junpei Irikawa;Junpei Irikawa;Junpei Irikawa;Shinsuke Miyajima;Shinsuke Miyajima;Eric Ateto Omondi;入川淳平