原子ビーム制御と原理リソグラフィー
原子ビーム制御と原理リソグラフィー
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原子束控制与光刻原理
DOI：
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发表时间：
2004
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
大向隆三
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Takeaki Araki;Hajime Tanaka;M.Hyodo;M.Hyodo;R.Ohmukai;K.Nakayama;R.Ohmukai;大向隆三
