高プラズマパワー密度CVDによる高配向・高生成NVアンサンブルの高速合成

高プラズマパワー密度CVDによる高配向・高生成NVアンサンブルの高速合成
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通过高等离子体功率密度 CVD 快速合成高度定向和高度生成的 NV 系综

DOI:
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发表时间:
2017
期刊:
影响因子:
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通讯作者:
波多野 睦子
波多野 睦子
中科院分区:
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文献类型:
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作者:
辻 赳行;矢板 潤也;小澤 勇斗;岩崎 孝之;波多野 睦子

文献摘要

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