沖村邦雄: "物理的気相蒸着法におけるプラズマ特性と膜物性に関する研究" 九州大学博士(工学)学位論文, 105 (1995)
沖村邦雄: "物理的気相蒸着法におけるプラズマ特性と膜物性に関する研究" 九州大学博士(工学)学位論文, 105 (1995)
复制标题
冲村邦男：《物理气相沉积中的等离子体特性和薄膜特性的研究》九州大学博士（工学）论文，105（1995）
DOI：
--
复制
发表时间：
--
期刊：
影响因子：
--
通讯作者：
中科院分区：
文献类型：
--
作者：
