粉体ターゲットスパッタリング成膜による多元素酸化物薄膜の作製
粉体ターゲットスパッタリング成膜による多元素酸化物薄膜の作製
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粉末靶溅射沉积制备多元氧化物薄膜
DOI：
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发表时间：
2017
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
川崎 仁晴
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Yagyu Y;Sakudo A.;川崎 仁晴;Sakudo A.;川崎 仁晴
