分極反転 AlN 系多層膜 SMR 型共振子の作製および評価
分極反転 AlN 系多層膜 SMR 型共振子の作製および評価
复制标题
极化反转AlN多层SMR型谐振器的制作与评估
DOI：
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发表时间：
2023
期刊：
影响因子：
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通讯作者：
関本，鈴木，垣尾
中科院分区：
文献类型：
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作者：
Sekimoto Jun;Suzuki Masashi;Kakio Shoji;関本，鈴木，垣尾
